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發布時間:2022-11-26作者來源:薩科微瀏覽:2664
想要了解SiC功率器件是什么,都有哪些特征?首先我們得知道SiC材料的物性和特征。
SiC(碳化硅)是一種由Si(硅)和C(碳)構成的化合物半導體材料。 不僅絕緣擊穿場強是Si的10倍,帶隙是Si的3倍,而且在器件制作時可以在較寬范圍內控制必要的p型、n型,所以被認為是一種超越Si極限的功率器件材料。
SiC中存在各種多型體(結晶多系),它們的物性值也各不相同。
用于功率器件制作,4H-SiC最為合適。
那么SiC功率器件的特征也就很好理解了,SiC的絕緣擊穿場強是Si的10倍,因此與Si器件相比,能夠以具有更高的雜質濃度和更薄的厚度的漂移層作出600V~數千V的高耐壓功率器件。
高耐壓功率器件的阻抗主要由該漂移層的阻抗組成,因此采用SiC可以得到單位面積導通電阻非常低的高耐壓器件。
理論上,相同耐壓的器件,SiC的單位面積的漂移層阻抗可以降低到Si的1/300。
而Si材料中,為了改善伴隨高耐壓化而引起的導通電阻增大的問題,主要采用如IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor : 絕緣柵極雙極型晶體管)等少數載流子器件(雙極型器件),但是卻存在開關損耗大 的問題,其結果是由此產生的發熱會限制IGBT的高頻驅動。 SiC材料卻能夠以高頻器件結構的多數載流子器件(肖特基勢壘二極管和MOSFET)去實現高耐壓,從而同時實現 "高耐壓"、"低導通電阻"、"高頻" 這三個特性。
另外,帶隙較寬,是Si的3倍,因此SiC功率器件即使在高溫下也可以穩定工作。
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