RIE干法刻蝕技術(shù)憑借其優(yōu)越的各向異性刻蝕能力和良好的選擇比控制，已成為半導(dǎo)體制造中不可或缺的核心工藝。

一、RIE干法刻蝕技術(shù)的基本原理

RIE（Reactive Ion Etching，反應(yīng)離子刻蝕）作為一種主流的干法刻蝕技術(shù)，通過(guò)等離子體中的活性物質(zhì)對(duì)材料表面進(jìn)行選擇性刻蝕，以達(dá)到精確移除材料的目的。

圖：干法刻蝕概要

RIE刻蝕技術(shù)屬于一種等離子體輔助的干法刻蝕工藝。刻蝕過(guò)程中，通過(guò)在反應(yīng)腔內(nèi)引入刻蝕氣體并施加射頻電場(chǎng)，在電場(chǎng)作用下刻蝕氣體被電離和激發(fā)，形成等離子體。這些等離子體中的活性物質(zhì)，包括離子、自由基等，與刻蝕材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，或通過(guò)物理轟擊將材料去除。RIE刻蝕既包含物理作用，又包含化學(xué)反應(yīng)，因而具有良好的各向異性刻蝕特性。

1.1 等離子體生成與刻蝕氣體的作用

RIE刻蝕系統(tǒng)通常采用13.56MHz的射頻電源生成等離子體。刻蝕氣體在電場(chǎng)作用下被激發(fā)和離解，形成高能的自由基和離子。例如，在CF?氣體中，電離作用會(huì)產(chǎn)生F自由基和CF?等物質(zhì)，F(xiàn)自由基可與硅發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成揮發(fā)性的SiF?，從而實(shí)現(xiàn)硅的去除。同時(shí)，CF?則可以在晶圓表面形成聚合物沉積層，防止側(cè)壁的過(guò)度刻蝕。

圖：RIE干法刻蝕原理

1.2 化學(xué)反應(yīng)與物理轟擊的協(xié)同作用

RIE的刻蝕過(guò)程是化學(xué)反應(yīng)與物理轟擊協(xié)同作用的結(jié)果。等離子體中的離子在電場(chǎng)加速下撞擊材料表面，削弱材料的化學(xué)鍵，使化學(xué)反應(yīng)更加高效。與此同時(shí)，化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)物揮發(fā)性較好，能夠從表面迅速移除，從而進(jìn)一步加快刻蝕速度。這種物理與化學(xué)雙重機(jī)制確保了RIE具有較高的刻蝕速率及良好的刻蝕方向性。

圖：干法刻蝕設(shè)備的基本組成

二、RIE刻蝕工藝流程

RIE工藝通常由以下步驟組成：

2.1 前處理

首先，需要對(duì)刻蝕材料進(jìn)行預(yù)處理，例如在硅襯底上形成氧化膜，或沉積一層用于刻蝕的金屬膜。接下來(lái)，通過(guò)光刻技術(shù)在刻蝕區(qū)域形成光刻膠掩模。

圖：干法刻蝕設(shè)備的工藝流程

2.2 等離子體刻蝕

將加工后的晶圓放置在RIE設(shè)備中，抽真空并引入適當(dāng)?shù)目涛g氣體。通過(guò)射頻電源激發(fā)刻蝕氣體形成等離子體，開(kāi)始刻蝕。刻蝕過(guò)程中，離子轟擊和化學(xué)反應(yīng)協(xié)同作用，使得光刻膠未覆蓋的區(qū)域材料被選擇性去除。

2.3 過(guò)刻蝕與選擇比控制

刻蝕完成后，通常會(huì)進(jìn)行適量的過(guò)刻蝕（over-etching），以確保所有刻蝕區(qū)域都能完全去除材料。這一過(guò)程對(duì)選擇比提出了高要求，選擇比定義為待刻膜與襯底或掩模之間的刻蝕速率比。較高的選擇比可以在過(guò)刻蝕階段減少對(duì)掩模或襯底材料的損傷，保證工藝的準(zhǔn)確性和一致性。

2.4 后處理

刻蝕完成后，光刻膠通常會(huì)被去除，并對(duì)刻蝕表面進(jìn)行清潔處理，以去除任何可能殘留的刻蝕副產(chǎn)物。

三、RIE刻蝕的評(píng)價(jià)參數(shù)

在RIE刻蝕過(guò)程中，有若干關(guān)鍵參數(shù)用于評(píng)價(jià)刻蝕效果和工藝質(zhì)量。這些參數(shù)包括刻蝕速率、選擇比、關(guān)鍵尺寸（CD）、尺寸偏移量以及刻蝕圖形角度。

3.1 刻蝕速率（Etch Rate, ER）

刻蝕速率是指單位時(shí)間內(nèi)材料被去除的量。為了提高工藝效率，通常希望刻蝕速率盡可能高。然而，過(guò)高的刻蝕速率可能會(huì)影響刻蝕的均勻性和精度，因此需要在速率和精度之間找到平衡點(diǎn)。

3.2 選擇比（Selectivity）

選擇比是指刻蝕目標(biāo)材料與掩模或襯底之間的刻蝕速率比。較高的選擇比意味著在去除目標(biāo)材料時(shí)，掩模或襯底的損傷較小。特別是在柵極結(jié)構(gòu)的加工中，由于柵氧化膜非常薄，選擇比的控制尤為重要。

圖：干法刻蝕的A/R比例

3.3 關(guān)鍵尺寸（Critical Dimension, CD）

關(guān)鍵尺寸是指經(jīng)過(guò)刻蝕后的圖形尺寸。CD的控制直接影響電路的電氣性能，如晶體管的閾值電壓等。在制造過(guò)程中，必須嚴(yán)格控制CD的變化，以提高產(chǎn)品的性能和良率。

3.4 尺寸偏移量（Dimension Offset, △CD）

尺寸偏移量是刻蝕后圖形尺寸與原始掩模尺寸的差異。通過(guò)精確的刻蝕控制，可以將尺寸偏移量控制到最小，確保圖形的精確性。

3.5 刻蝕圖形的角度（Etching Profile Angle）

理想的刻蝕圖形應(yīng)具備接近90°的垂直側(cè)壁。過(guò)大的角度（倒角）可能導(dǎo)致后續(xù)工藝中的電荷積聚，進(jìn)而影響器件性能，而反向角度（逆倒角）則可能形成陰影區(qū)域，對(duì)后續(xù)的離子注入產(chǎn)生不良影響。

四、RIE在不同材料刻蝕中的應(yīng)用

RIE技術(shù)可用于多種半導(dǎo)體材料的刻蝕，包括金屬、絕緣體以及硅基材料。不同材料的刻蝕工藝需求差異顯著，因此RIE刻蝕氣體的選擇及工藝參數(shù)需要針對(duì)具體材料進(jìn)行優(yōu)化。

4.1 金屬刻蝕

在半導(dǎo)體制造中，金屬刻蝕主要用于互連線的加工。常見(jiàn)的刻蝕金屬材料包括鋁、銅和鎢。以鋁為例，氯氣（Cl?）通常用于刻蝕鋁，其反應(yīng)產(chǎn)物為易揮發(fā)的AlCl?，可以迅速移除。為了提高選擇比，可以使用SiCl?等輔助氣體，確保刻蝕速率的同時(shí)保護(hù)掩模。

4.2 絕緣體刻蝕

常見(jiàn)的絕緣材料刻蝕包括二氧化硅（SiO?）和氮化硅（Si?N?）。二氧化硅的刻蝕通常采用氟基氣體如CF?、CHF?等，氟自由基與二氧化硅發(fā)生反應(yīng)生成揮發(fā)性的SiF?，完成刻蝕。氮化硅刻蝕則可以通過(guò)混合氣體（CF?與O?等）進(jìn)行，以提高選擇比和刻蝕速率。

4.3 單晶硅和多晶硅刻蝕

硅材料的刻蝕主要用于形成溝槽隔離或晶體管的柵極結(jié)構(gòu)。單晶硅刻蝕通常使用HBr等溴基氣體，刻蝕過(guò)程中，溴自由基與硅反應(yīng)形成易揮發(fā)的SiBr?，確保了刻蝕的各向異性和高選擇比。多晶硅刻蝕則廣泛應(yīng)用于柵極刻蝕，氯氣（Cl?）和HBr混合氣體可以提高刻蝕速度并確保良好的側(cè)壁保護(hù)。

五、RIE技術(shù)的發(fā)展與未來(lái)

隨著集成電路尺寸的進(jìn)一步縮小，RIE技術(shù)面臨更高的挑戰(zhàn)。為了滿足7nm、5nm甚至更小工藝節(jié)點(diǎn)的需求，RIE刻蝕的各向異性控制和選擇比進(jìn)一步提升，工藝的均勻性和重復(fù)性也需更為嚴(yán)格。此外，低溫刻蝕技術(shù)和基于下一代材料的刻蝕技術(shù)也在積極研發(fā)中，以適應(yīng)不斷變化的半導(dǎo)體制造需求。

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