華海清科14nm機(jī)臺正在進(jìn)行驗(yàn)證。    芯東西6月17日報(bào)道，今天，華海清科股份有限公司（以下簡稱“華海清科”）在上交所科創(chuàng)板上會通過。由上會稿可知，華海清科的主營業(yè)務(wù)為CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）設(shè)備，是目前國內(nèi)[敏感詞]一家能夠提供半導(dǎo)體12英寸CMP商業(yè)機(jī)型的廠商。   CMP設(shè)備是先進(jìn)集成電路制造前道工序、先進(jìn)封裝等環(huán)節(jié)必需的關(guān)鍵制程工藝。如果將芯片的制造比作房屋的修建，那么每一樓層都必須要十分平整才能在上面搭建另一層，否則就會高低不平，影響芯片整體性能。而使芯片“大廈”平整的要點(diǎn)就是CMP技術(shù)，該技術(shù)也是晶體管工藝達(dá)到納米級關(guān)鍵。   華海清科的產(chǎn)品可覆蓋8英寸（200mm）、12英寸（300mm）晶圓產(chǎn)線，是半導(dǎo)體供應(yīng)鏈國產(chǎn)替代的重要一環(huán)，已應(yīng)用于中芯國際、長江存儲、華虹集團(tuán)、英特爾等廠商的芯片產(chǎn)線中。   本次IPO，華海清科計(jì)劃募資10億元，其中CMP設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目將占3.5億元，高端半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)項(xiàng)目計(jì)劃投入2億元募集資金，晶圓再生擴(kuò)產(chǎn)升級項(xiàng)目則占用1.5億元，其余3億元將補(bǔ)充華海清科的流動資金。   報(bào)告期內(nèi)，華海清科營收增長較快，2017年總營收為1918萬元，2020年達(dá)到3.86億元。   目前，清華大學(xué)為華海清科實(shí)際控制人，股份占比為37.58%。董事長為清華大學(xué)教授、博士生導(dǎo)師路新春。清華大學(xué)也在上會稿中作出承諾，其作為行政事業(yè)單位將不會直接從事經(jīng)營活動。

▲華海清科股權(quán)結(jié)構(gòu)

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  01 .   單年?duì)I收達(dá)3.86億，凈利扭虧為盈  

上會稿顯示，2018年-2020年，華海清科的營收漲幅都在1億元以上，其2020年的凈利潤也接近1億元。   華海清科2018年-2020年總營收分別為3566萬元、2.11億元和3.86億元。凈利潤方面，2018年-2020年華海清科凈利潤則分別為-3571萬元、-1.54億元和0.98億元。

▲2018年-2020年華海清科營收及凈利潤變化

根據(jù)華海清科官網(wǎng)，2013年4月10日該公司成立；2016年3月，華海清科首臺12英寸CMP設(shè)備Universal-300通過中芯國際驗(yàn)收。   上會稿提到，華海清科以12英寸CMP設(shè)備作為基礎(chǔ)，于2017年完成了對8英寸CMP設(shè)備Universal-200的研制。同年，該型號設(shè)備進(jìn)入客戶端并完成驗(yàn)收。2020年，華海清科12英寸減薄設(shè)備Versatile-GP300研制成功。   目前，華海清科的設(shè)備主要分為300系列和200系列，其中300系列主要應(yīng)用于12英寸芯片產(chǎn)線，200系列設(shè)備則用于8英寸產(chǎn)線。   根據(jù)統(tǒng)計(jì)，300系列設(shè)備是華海清科的主營產(chǎn)品，2020年300系列設(shè)備銷售金額占總營收比例分別為88.91%，200系列占比為2.64%，配套材料及技術(shù)服務(wù)占比則為8.45%；2018年-2020年，300系列設(shè)備的銷售金額占華海清科營收占比分別為89.01%、92.39%和88.91%。

▲2020年華海清科業(yè)務(wù)營收占比

  02 .   打破應(yīng)材、荏原12英寸CMP設(shè)備壟斷  

從全球CMP設(shè)備市場來看，美國應(yīng)用材料和日本荏原是行業(yè)內(nèi)的頭部玩家。根據(jù)美國市場研究公司Gartner數(shù)據(jù)，2020年全球CMP設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到16.3億美元，而應(yīng)用材料和日本荏原兩家公司所占市場份額在90%左右。   就國內(nèi)CMP設(shè)備廠商來講，有華海清科、北京爍科精微電子裝備有限公司和中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所等，目前華海清科是[敏感詞]實(shí)現(xiàn)12英寸系列CMP設(shè)備量產(chǎn)銷售的設(shè)備廠商。   在國內(nèi)市場上，華海清科已開始對美國應(yīng)用材料、日本荏原兩家公司的市場份額發(fā)起挑戰(zhàn)。   中國國際招標(biāo)網(wǎng)數(shù)據(jù)顯示，長江存儲、華虹無錫、上海華力一二期項(xiàng)目和上海積塔等2019年共招標(biāo)采購38臺CMP設(shè)備，華海清科中標(biāo)8臺，占比21.05%；2020年1-9月，上述項(xiàng)目和公司共招標(biāo)采購68臺CMP設(shè)備，華海清科中標(biāo)28臺，占比為41.18%；其余的12英寸CMP設(shè)備訂單則由美國應(yīng)用材料和日本荏原獲得。   在客戶方面，由于半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)密集和資本密集的特性，華海清科的客戶相對較為集中。2018年、2019年、2020年，華海清科前五大客戶占比分別為99.09%、94.96%和85.71%。   具體來說，中芯國際自2017年以來就一直是華海清科的前五大客戶，華虹集團(tuán)從2018年后也一直是其前五大客戶。2020年，長江存儲銷售金額為1.28億元，占華海清科同期營收比例為33.22%，華虹集團(tuán)、中芯國際、睿力集成電路有限公司、浙江馳拓科技有限公司則是華海清科其余前五大客戶。

▲2018年-2020年華海清科前五大客戶

在這之中，長江存儲、華虹集團(tuán)和華海清科存在關(guān)聯(lián)關(guān)系。長江存儲是清華控股控制的其他企業(yè)；華海清科總經(jīng)理張國銘則在華虹集團(tuán)擔(dān)任外部董事。   在原材料及器件采購上，北京錦通昌精密機(jī)械設(shè)備公司一直是華海清科的[敏感詞]大零部件供應(yīng)商。2020年1-6月，華海清科在該公司的采購金額為4162.67萬元，占總采購金額的18.29%。

▲2018年-2020年華海清科前五大供應(yīng)商

  03 .   3年投資1.35億，董事長為全球CMP設(shè)備[敏感詞]專家  

華海清科之所以能夠獲得中芯國際、華虹集團(tuán)、長江存儲、大連英特爾等半導(dǎo)體廠商的青睞，很大一部分原因在于其國內(nèi)較為領(lǐng)先的技術(shù)實(shí)力。   華海清科的核心技術(shù)人員有董事長兼首席科學(xué)家路新春、副總經(jīng)理王同慶等8人，研發(fā)人員總計(jì)125人，占公司員工總數(shù)的比例為32.98%。   路新春為華海清科的首席科學(xué)家，也是該公司的技術(shù)、產(chǎn)品研發(fā)帶頭人，累計(jì)獲已授權(quán)國家發(fā)明專利超過100項(xiàng)，曾牽頭起草1項(xiàng)企業(yè)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)。截至2020年12月31日，路新春發(fā)表CMP相關(guān)SCI論文86篇，每篇文章平均被引用超過10次，位居全球CMP設(shè)備領(lǐng)域技術(shù)專家前三名，也是全球CMP設(shè)備技術(shù)授權(quán)專利獲得最多的專家。

▲華海清科董事長、首席科學(xué)家路新春

近3年來，該公司的研發(fā)投入總計(jì)達(dá)1.35億元，占同期營收比例為21.33%。   在這樣的研發(fā)投入下，華海清科累計(jì)擁有已授權(quán)專利173項(xiàng)。上會稿顯示，華海清科擁有納米級拋光、納米精度膜厚在線檢測、納米顆粒超潔凈清洗、大數(shù)據(jù)分析及智能化控制和超精密減薄等等多項(xiàng)關(guān)鍵核心技術(shù)。

▲華海清科產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)及水平評價(jià)

此外，華海清科也承擔(dān)了國家科技02重大專項(xiàng)《28-14nm拋光設(shè)備及工藝、配套材料產(chǎn)業(yè)化》項(xiàng)目，其“CMP拋光系統(tǒng)研發(fā)與整機(jī)系統(tǒng)集成”課題于2020年6月順利驗(yàn)收，相關(guān)科技成果已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。   目前，華海清科已有機(jī)臺在客戶端做14nm產(chǎn)線驗(yàn)證，不久或可實(shí)現(xiàn)28-14nm CMP設(shè)備的國產(chǎn)替代。  
  04 .   清華大學(xué)為實(shí)際控制人  

根據(jù)上會稿，清華大學(xué)是華海清科的實(shí)際控制人，持有37.58%的公司股份；清津厚德為第二大股東，擁有10.24%的公司股份；董事長路新春則是第三大股東，持有7.93%的公司股份。   其他持有華海清科5%以上股份的股東還有科海投資和國投基金，分別持有7.43%和6.35%的公司股份。

▲華海清科前10大股東

  05 .   結(jié)語：華海清科上市或加速技術(shù)進(jìn)步，仍需面對激烈競爭  

隨著全球半導(dǎo)體短缺問題日益嚴(yán)重，歐美等國已經(jīng)將半導(dǎo)體供應(yīng)鏈當(dāng)作了國家安全的重要組成部分。隨著美國半導(dǎo)體激勵法案的逐漸推進(jìn)，半導(dǎo)體也成為了國家角力的一大領(lǐng)域。

在這樣的背景下，保障我國半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的安全可控意義重大。而華海清科擁有12英寸CMP設(shè)備的自主知識產(chǎn)權(quán)，如果能夠成功上市，其研發(fā)資金也將更加充裕，或?qū)⒓铀倨涞募夹g(shù)發(fā)展。另一方面來說，美國應(yīng)用材料和日本荏原的CMP設(shè)備已達(dá)到5nm制程水平，技術(shù)領(lǐng)先華海清科。在逐漸整合的半導(dǎo)體市場中，即使華海清科成功上市，其面對的競爭壓力依舊較大，未來能否打破巨頭壟斷仍需觀望。

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