無(wú)塵室(Clean Room)，亦稱為無(wú)塵室或潔凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無(wú)塵室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-209E里面，無(wú)塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，（公眾號(hào)：芯片智造）從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。
世界各國(guó)均有自定規(guī)格，但普遍依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無(wú)塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，（公眾號(hào)：芯片智造）如果無(wú)塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)無(wú)塵室[敏感詞]塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無(wú)塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示。例如：10級(jí)在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，（公眾號(hào)：芯片智造）密度不大于75顆/立方英尺)，1級(jí)在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。
隔間
萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室隔間分為三大部分,更衣室,千級(jí)區(qū)和百級(jí)區(qū),更衣室與千級(jí)區(qū), 千級(jí)區(qū)和百級(jí)區(qū)均設(shè)風(fēng)淋室(airshower), 無(wú)塵室與室外設(shè)有物品出入通道傳遞箱(passbox).當(dāng)人員進(jìn)入無(wú)塵室時(shí),首先要經(jīng)過風(fēng)淋室,對(duì)人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入無(wú)塵室的灰塵. （公眾號(hào)：芯片智造）傳遞箱則是對(duì)物品灰塵進(jìn)行吹淋,達(dá)到落塵的效果.
系統(tǒng)采用的是全新風(fēng)空調(diào)箱+FFU系統(tǒng).
全新風(fēng)空調(diào)箱結(jié)構(gòu)
FFU:(FAN FILTER UNIT) 即風(fēng)機(jī)和過濾器
千級(jí)區(qū)過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級(jí)區(qū)過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995%
冰水系統(tǒng)分為一次側(cè)和二次側(cè).
一次側(cè)冰水水溫7-12度,供給空調(diào)箱和風(fēng)機(jī)盤管,二次側(cè)冰水12-17度供給干盤管系統(tǒng).（公眾號(hào)：芯片智造）
一次側(cè)冰水和二次冰水為兩個(gè)不同的回路,之間由板式換熱器連接.
干盤管:不結(jié)露的盤管,因無(wú)塵室溫度在22度,其露點(diǎn)溫度12度左右,故7度冰水不能直接進(jìn)入無(wú)塵室,所以進(jìn)干盤管的冰水溫度在12-14度.
濕度:空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過感測(cè)的信號(hào),（公眾號(hào)：芯片智造）控制三通閥開度來(lái)調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管進(jìn)水量
正壓:空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測(cè)的信號(hào),自動(dòng)調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達(dá)變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進(jìn)入室內(nèi)的新風(fēng)量.
不只是空調(diào)系統(tǒng), 無(wú)塵室系統(tǒng)中還包括有真空,空壓,氮?dú)?純水,廢水,二氧化碳系統(tǒng),制程排氣系統(tǒng),
1.氣流速度及其均勻度檢測(cè)，這項(xiàng)檢測(cè)是無(wú)塵室效果的其他各項(xiàng)檢測(cè)的前提，（公眾號(hào)：芯片智造）這項(xiàng)檢測(cè)的目的是為了明確單向流無(wú)塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。
2.系統(tǒng)或房間的風(fēng)量檢測(cè)。
3.室內(nèi)潔凈度的檢測(cè)。潔凈度的檢測(cè)是為了確定潔凈環(huán)境可達(dá)到的空氣潔凈度級(jí)別，可采用粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)。
4.自凈時(shí)間的檢測(cè)。通過確定自凈時(shí)間，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時(shí)恢復(fù)其原有潔凈度的能力。
7.照度的檢測(cè)。照度檢測(cè)的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。
8.振動(dòng)的檢測(cè)。振動(dòng)檢測(cè)的目的是為了判明無(wú)塵室各表明的振動(dòng)幅度。
9.溫、濕度的檢測(cè)。溫、濕度檢測(cè)的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測(cè)無(wú)塵室的送風(fēng)溫度，檢測(cè)有代表性測(cè)點(diǎn)的空氣溫度，檢測(cè)無(wú)塵室中心點(diǎn)的空氣溫度，（公眾號(hào)：芯片智造）檢測(cè)敏感元件處的空氣度，檢測(cè)室內(nèi)空氣相對(duì)溫度，檢測(cè)回風(fēng)溫度。
10.總風(fēng)量和新風(fēng)量的檢測(cè)。
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