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ASML、NIKON、CANON光刻機(jī)型號(hào)參數(shù)匯總

發(fā)布時(shí)間:2024-08-09作者來源:薩科微瀏覽:2137

之前,我發(fā)布了一個(gè)ASML光刻機(jī)的型號(hào)參數(shù)的匯總列表。看起來大家對(duì)這個(gè)數(shù)據(jù)非常感興趣,實(shí)際的閱讀量遠(yuǎn)超我最初的預(yù)估
既然如此,那我就多發(fā)布一些數(shù)據(jù)吧。這次,我干脆把全球前道光刻機(jī)供應(yīng)商御三家:ASML、NIKON、CANON的全部數(shù)據(jù)都一次性發(fā)布出來,供大家參考吧
老粉絲應(yīng)該或許還記得我以前也發(fā)布過這個(gè)數(shù)據(jù)。不過這次,我又增加了不少新的數(shù)據(jù):
ASML:增加了[敏感詞]NA值 .55得TWINSCAN EXE;增加了若干老機(jī)型的數(shù)據(jù)(部分?jǐn)?shù)據(jù)參考了公眾號(hào):TOM聊芯片智造,特此感謝)
NIKON:增加[敏感詞]的NSR S636E等兩三款型號(hào)
CANON:增加FPA Stepper機(jī)型若干
基本上,這個(gè)表格大體囊括了市面上主流的光刻機(jī)數(shù)據(jù)了,值得大家參考和收藏(限于我個(gè)人能力,很可能還有個(gè)別遺漏的,也麻煩大家給我留言提醒,謝謝了)
圖片


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